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对p型金刚石来说,电力原子尺寸较小的硼很容易就能融入金刚石晶格之中,不存在晶体取向问题。而磷掺杂则存在激活能过高、期权掺入效率低、电导特性差等问题,因此制备的n型掺杂金刚石薄膜的电阻率也达不到制作器件的要求[7]。
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